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全氟橡膠是由TFE（主鏈）、PMVE（支鏈）及架橋部所構(gòu)成，它不僅具有像PTFE一樣優(yōu)異的耐高溫，耐化學(xué)腐蝕的性能（可耐1600余種化學(xué)品的腐蝕），還兼?zhèn)淞讼鹉z的彈性，其化學(xué)單體結(jié)構(gòu)類似于聚四氟乙烯。普通耐介質(zhì)全氟橡膠工作溫度為-25℃～240℃。耐高溫全氟橡膠高溫可達(dá)320℃，可在300℃長(zhǎng)期工作。

優(yōu)點(diǎn)：
•最佳耐熱特性
•優(yōu)異的抗化學(xué)特性
•優(yōu)異的氣密性
•抗等離子體特性

缺點(diǎn)：
•耐低溫特性較差
•原料價(jià)格較高
•生產(chǎn)加工難度較高

應(yīng)用領(lǐng)域：

•全氟系列產(chǎn)品廣泛運(yùn)用于這種材料主要用于半導(dǎo)體,軍工,航天等尖端領(lǐng)域。運(yùn)用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。